一种氟代碳酸乙烯酯固体废渣的处理方法，包括以下步骤：a）将氟代碳酸乙烯酯固体渣进行减压干燥，回收溶剂和反应物，得到干燥后的固体渣；b）将上述干燥后的固体渣与水混合后过滤，分别得到滤液和滤渣；其中滤渣采用焚烧处理；c）将上述滤液与纳米二氧化钛混合后，进行光催化反应，反应完成后过滤掉纳米二氧化钛，再加入活性炭进行吸附处理，得到无色透明液体；d）将上述无色透明液体与白炭黑、氟硅酸混合，进行反应后过滤，分别得到氟硅酸钾软膏和盐酸；其中氟硅酸钾软膏烘干后得到氟硅酸钾。本发明提供的处理方法适用于氟代碳酸乙烯酯固体废渣的综合处理，能够实现废渣中各组分的充分回收利用，处理成本低，具有良好的工业化推广价值。