本实用新型公开了一种矩形波导微波等离子体光源，包括矩形波导谐振腔，载气模块，调节模块，光路模块，电路控制系统，维持气控制系统，样品载气控制系统。本实用新型提供了一种矩形波导微波等离子体光源，激发能量可以从200瓦到数千瓦，在电路控制系统的作用下，微波能量在谐振腔中将通过的载气电离形成等离子体，这种等离子体含有样品光谱信息并可以通过光路模块传递出来，以实现对介质气中的物质进行分析的目的。