半导体生物传感器及其制备方法

授权公布号：CN105957866B

半导体生物传感器及其制备方法

有效

申请

2016-05-04

申请公布

2016-09-21

授权

2018-02-16

预估到期

2036-05-04

申请号	CN201610290858.5
申请日	2016-05-04
申请公布号	CN105957866A
申请公布日	2016-09-21
授权公布号	CN105957866B
授权公告日	2018-02-16
分类号	H01L27/10;H01L27/102;H01L27/105;H01L21/77
分类	基本电气元件;
申请人名称	上海小海龟科技有限公司
申请人地址	上海市宝山区江南路180号B303

专利法律状态

2018-02-16 授权

状态信息

授权

2016-10-19 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/10申请日:20160504

2016-09-21 公布

状态信息

公开

摘要

本发明涉及半导体技术领域，公开了一种半导体生物传感器及其制备方法。半导体生物传感器包含衬底，形成在衬底之上的外延层，形成在外延层中的离子敏感场效应晶体管的源区、漏区以及双极型晶体管的基区和发射区，形成在外延层上离子敏场效应晶体管的源区、漏区之间的栅氧化层，形成在栅氧化层之上的离子敏感场效应晶体管的栅区；离子敏感场效应晶体管的衬底，作为双极型晶体管的集电区；集电区、发射区、源区和栅区均通过金属互连线引出，作为半导体生物传感器的集电极、发射极、源极和栅极。本发明半导体生物传感器结构简化，从而使其便于集成和封装。