本发明公开了一种应用于太阳能电池的陶瓷靶材及其制备方法，包括以下步骤：S1、将氧化锡、氧化锑加入到球磨机中，再加入分散剂、溶剂进行第一次球磨，再加入烧结助剂，第二次球磨混合，得到浆料；S2、将浆料进行喷雾造粒，过筛，得到粉体；S3、将粉体置于模具中进行压制成型，得到素坯；S4、将素坯烧结，得到应用于太阳能电池的陶瓷靶材。本发明所述的陶瓷靶材具有良好的致密度、电阻率，由该陶瓷靶材制备的薄膜具有优异的光电性能和耐湿耐蚀性能，能够提高太阳能电池的稳定性和耐久性。