一种香槟色薄膜用靶材及其制备方法

授权公布号：CN115852327B

一种香槟色薄膜用靶材及其制备方法

有效

申请

2023-02-17

申请公布

2023-03-28

授权

2023-06-02

预估到期

2043-02-17

申请号	CN202310125792.4
申请日	2023-02-17
申请公布号	CN115852327A
申请公布日	2023-03-28
授权公布号	CN115852327B
授权公告日	2023-06-02
分类号	C23C14/35;C22C5/02;C22C1/06;C22C1/04;C22F1/14;B22F1/14;B22F1/142
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	广州市尤特新材料有限公司
申请人地址	广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

专利法律状态

2023-06-02 授权

状态信息

授权

2023-04-14 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C14/35；申请日:20230217

2023-03-28 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种香槟色薄膜用靶材，包括以下重量百分比原料：Ag 1.2‑1.6%、Al 0.1‑0.6%、Fe 0.2‑0.5%、In 0.2‑0.4%、淬火改性剂0.1‑0.3%、钛粉细化剂0.1‑0.2%、余量为Au。本发明由一种金为主要材料的靶材，主要应用于真空炉内镀膜手表、手机壳、首饰及装饰产品领域；采用本发明的香槟色金靶材应用于真空磁控溅射镀膜技术中，由其制备的薄膜色泽光亮柔和，膜层表面硬度高、耐磨性好且具有及佳的抗氧化性能。