本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的绑定加热装置、方法及计算机可读存储介质。加热装置设有内加热结构和外加热结构：内加热结构的环状定位管用于引导热风向背管传递热量，在环状定位管与背管之间通热风后实现对背管的快速升温；外加热结构为多节环状加热罩，各个环状加热罩可密封叠置以适应不用高度的靶材，外加热结构的密封盖可拆卸地安装在最上层环状加热罩顶部，外加热结构与安装底座一起构成全密封结构，将背管和靶材罩在内部。通过内加热结构的热风通道和外加热结构的加热管同步工作，使得背管内外温度处于预设差值范围内，如此则待绑定的靶管内外温度保持一致，减少外管靶材崩裂的几率。