一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法

授权公布号：CN114990500B

一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法

有效

申请

2022-04-26

申请公布

2022-09-02

授权

2023-09-29

预估到期

2042-04-26

申请号	CN202210445282.0
申请日	2022-04-26
申请公布号	CN114990500A
申请公布日	2022-09-02
授权公布号	CN114990500B
授权公告日	2023-09-29
分类号	C23C14/34;C22C14/00
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	广州市尤特新材料有限公司
申请人地址	广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

专利法律状态

2023-09-29 授权

状态信息

授权

2022-09-20 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C14/34；申请日:20220426

2022-09-02 公布

状态信息

公布

摘要

本发明属于靶材技术领域，本发明具体公开了一种金黄色薄膜用靶材及其制备方法，所述的金黄色薄膜用靶材由以下重量份原料制备而成：0.08~0.3份金、0.15~0.35份铜、0.2~0.6份锡、0.5~1份镍、0.6~1.3份锌合金、90~98份钛。本发明所述的由钛为主的靶材，辅以金、铜、锡、镍、锌合金，在上述的重量份配比下，制备的靶材具有良好的耐磨性能，由其制备的薄膜呈现金黄色，本发明采取由铋粉氧化铈、氧化镧、钪粉、镁粉、铜粉、锌粉组成的锌合金能够显著提高靶材的耐磨性能，且不会影响到由其制备得到的薄膜的颜色。