授权公布号:CN217912802U
一种靶材浇铸装置
有效
申请
2021-06-30
申请公布
1970-01-01
授权
2022-11-29
预估到期
2031-06-30
| 申请号 | CN202121482786.7 |
| 申请日 | 2021-06-30 |
| 授权公布号 | CN217912802U |
| 授权公告日 | 2022-11-29 |
| 分类号 | B22D27/04;B22D46/00;B22C9/22;C23C14/35 |
| 分类 | 铸造;粉末冶金; |
| 申请人名称 | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号 |
专利法律状态
2022-11-29
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种靶材浇铸装置。靶材浇铸装置包括圆柱状的背管、与背管同轴的且能套设在背管外周的中空管状的浇铸模具,以及能罩住背管和模具的控温装置,背管与浇铸模具之间的间隙用于注入靶材原料,还包括能在背管内往径向喷洒冷却液的喷淋装置。利用该靶材浇铸装置,其喷淋装置的冷却方法自下而上且自内而外地进行冷却,通过快速喷淋的方式实现快速冷却而又不会造成冷却不均。


