一种防变色陶瓷膜用靶材及其制备方法

授权公布号：CN116121716B

一种防变色陶瓷膜用靶材及其制备方法

有效

申请

2023-04-14

申请公布

2023-05-16

授权

2023-07-04

预估到期

2043-04-14

申请号	CN202310395449.1
申请日	2023-04-14
申请公布号	CN116121716A
申请公布日	2023-05-16
授权公布号	CN116121716B
授权公告日	2023-07-04
分类号	C23C14/34;C22C1/05;C22C27/02;C22C32/00
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	广州市尤特新材料有限公司
申请人地址	广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号

专利法律状态

2023-07-04 授权

状态信息

授权

2023-06-02 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C14/34；申请日:20230414

2023-05-16 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种防变色陶瓷膜用靶材，包括以下重量份原料：铌45‑55份、锡2‑6份、硅改性剂1‑3份、硅灰石粉复合针状α‑氧化铝体1‑3份、纳米二氧化钛1‑3份。本发明以稀有金属材料铌为主要成分的靶材，采用锡、硅改性剂、硅灰石粉复合针状α‑氧化铝体、纳米二氧化钛复合调制，使用离子溅射技术对基材表面进行镀膜，能够制备得到可长期保持原有的颜色及光泽度的防变色陶瓷膜。