本发明涉及金属靶材技术领域，具体提供一种旋转硅磷合金靶材，其合金纯度大于99.9%，区别于传统的煅烧工艺，采用热喷涂的工艺技术，制备过程安全系数高，所制得合金靶材组织均匀，致密度高，具备优良的物理性能，在制备过程中添加改性剂，所制得的金属靶材导电性能显著提高，可应用在太阳能电池和半导体等领域。