本发明公开了一种高纯电子级氯气纯化生产装置及其工艺，包括液氯储罐、汽化器、氯水洗涤塔、冷凝塔、吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、膜压机、过滤器和收集瓶，液氯储罐连通于汽化器，汽化器通过氯水洗涤塔连通于冷凝塔，冷凝塔通过吸附器连通于脱轻精馏塔，脱轻精馏塔连接脱重精馏塔，脱重精馏塔通过膜压机连通于收集瓶，膜压机与收集瓶之间连接有过滤器。本发明采用液相进料避免三氯化氮富集在液氯储罐与液氯发生爆炸，氯水洗涤塔和脱重精馏塔可以除去三氯化氮，避免三氯化氮污染高纯氯气，氯水洗涤塔可以除去金属氯化物和非金属氯化物，提高氯气的纯度，避免了对电子材料的影响；吸附器、脱轻精馏塔和脱重精馏塔，可提高对其他气体去除效果；提高氯气的纯度。