本实用新型公开了一种制备半导体用超纯氨的装置，所述装置包括依次连通的汽化单元、用于脱硫脱水的预处理单元、脱轻单元、脱重单元和用以除水、氧和金属的后纯化单元，及用于对汽化单元和精馏系统加热的供热系统；所述装置可便捷高效地除去水、氧及金属等杂质获得超纯氨；此外供热系统的介质既提供热源，又提供冷源，实现连续化节能生产；高低沸点组分的脱除可作为工业氨回收利用，无废气排放。