本实用新型公开了一种制备半导体用超高纯氯化氢气体的装置，以工业产品气体为原料，采用多种纯化装置、气液分离装置与高压精馏装置的结合，可实现高效脱水、去除CO2及金属离子；所述制备工艺摆脱了现有技术对原料的依赖，在生产超高纯氯化氢气体的同时产生多种品质的氯化氢气体，尾气减少的同时易于处理，适用于工业化推广。