本实用新型公开了一种防止富氩尾气腐蚀管路的氩气处理装置，包括回热器、脱碳加热炉、脱碳催化炉、吸附筒、水洗筒、换热器和气液分离器，回热器分别连通于脱碳加热炉和水洗筒，脱碳加热炉通过脱碳催化炉连通于吸附筒，吸附筒连通于换热器，水洗筒通过换热器连通于气液分离器。本实用新型有益效果：本实用新型设置有吸附筒、水洗筒和气液分离器，吸附筒内设置有多种吸附剂，可将一些酸性物质吸附脱除，减少后续酸性液体的产生，水洗筒利用纯水吸收一部分酸性物质，减少酸性物质对后续管路的腐蚀影响，气液分离器使得气体与液体分离，减少带有腐蚀性液体对后续净化管道的腐蚀影响。