本实用新型公开了一种高纯氧的制备装置，其包括主换热器、下塔、上塔、粗氩Ⅰ塔、与粗氩Ⅰ塔相连通的粗氩Ⅱ塔，上塔顶部具有液氮出口，下塔上具有液氧出口，所述的粗氩Ⅱ塔的底部粗液氩出口与高纯氧塔的中上部相连通，高纯氧塔的底部具有高纯氧出口；下塔的液氧出口与自增压蒸发器连通，所述自增压蒸发器的氧气出口与主换热器连通，所述自增压蒸发器的热源入口与主换热器连接；高纯氧塔内部蒸发器的热源入口与下塔顶的纯氮气入口连接，热源出口与上塔连接。本实用新型仅需要对现有的低温精馏塔进行少量改造即可实现，节约了投资以及后续的维护成本，也可以降低时间成本。