授权公布号:CN216922448U
真空容器抽真空的装置
有效
申请
2022-01-21
申请公布
1970-01-01
授权
2022-07-08
预估到期
2032-01-21
| 申请号 | CN202220178600.7 |
| 申请日 | 2022-01-21 |
| 授权公布号 | CN216922448U |
| 授权公告日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | F04B45/04;F04B37/14;F04B39/10;F04B39/00 |
| 分类 | 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵; |
| 申请人名称 | 北京国科环宇科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市海淀区知春路63号北京卫星制造厂51号楼(卫星大厦)16层 |
专利法律状态
2022-07-08
授权
状态信息
授权
摘要
本公开涉及抽真空设备技术领域,尤其涉及一种真空容器抽真空的装置。该真空容器抽真空的装置包括真空容器,还包括隔膜泵;所述隔膜泵的进气口与所述真空容器连接,所述隔膜泵的出气口与外部环境连接;所述隔膜泵上设有电子阀门,所述电子阀门的进气孔与外部环境连接,所述电子阀门的排气孔与所述隔膜泵的第一腔室连接。该真空容器抽真空的装置,通过将电子阀门连接第一腔室和外部环境,能够利用电子阀门的开闭防止管道和泵体内产生积水,保证管道和泵体的洁净程度,并且利用隔膜泵作为抽真空的泵体结构简单可靠,无油无尘,也能进一步保证整个装置的洁净度。


