本实用新型提供了一种基于等离子CVD法制取纳米羰基铁粉的装置，包括球形反应器，所述球形反应器设有真空泵和电机，所述球形反应器内部设有电极，所述球形反应器端部分别设有压缩空气进口管和压缩空气出口管，所述球形反应器的侧部设有蒸发槽，所述蒸发槽设有进气管路和回气管路，且二者与球形反应器呈连通状，所述进气管路设有进气调节阀和隔膜泵，所述回气管路设有截止阀。本实用新型结构简单、易操作，安全性较好，同时产出产品质量较为稳定，且杂质含量较低，解决了羰化冶金工艺制取纳米羰基铁粉过程中纳米羰基铁粉活性高、比表面大、易发生歧化反应而不能量产的问题。