本申请实施例提供一种高精度传输装置，所述传输装置包括：载物台、第一齿轮、第二齿轮和导轨，其中，所述第一齿轮设置于所述载物台与载物面相对的一侧，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第二齿轮的旋转中心与所述第一齿轮的旋转中心之间的距离为第一预设距离，所述第二齿轮与所述导轨贴合设置，所述第二齿轮用于沿所述导轨运动以进行物体传输，所述第二齿轮在所述导轨上运动时，用于在所述导轨出现凸台时，所述第二齿轮转动以使得所述第一齿轮运动，所述第一齿轮的运动距离小于所述凸台的高度，能够降低传输装置运行时的抖动，从而提升传输装置的运行精度。