授权公布号:CN116959979B
耐高温的GPP芯片的生产工艺
有效
申请
2023-07-14
申请公布
2023-10-27
授权
2024-02-23
预估到期
2043-07-14
| 申请号 | CN202310866902.2 |
| 申请日 | 2023-07-14 |
| 申请公布号 | CN116959979A |
| 申请公布日 | 2023-10-27 |
| 授权公布号 | CN116959979B |
| 授权公告日 | 2024-02-23 |
| 分类号 | H01L21/329;H01L21/3065;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/02 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 常州银河电器有限公司 |
| 申请人地址 | 江苏省常州市新北区河海西路168号 |
专利法律状态
2024-02-23
授权
状态信息
授权
2023-11-14
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/329;申请日:20230714
2023-10-27
公布
状态信息
公布
摘要
本发明涉及二极管芯片制造技术领域,尤其是涉及一种耐高温GPP芯片的生产工艺,步骤包括一次光刻:腐蚀开槽:SIPOS:二次光刻:电泳钝化:LTO;三次光刻以及表面金属化,划片切割。本发明的工序结合了光阻法和电泳法的优势,相比现有技术的全部钝化然后再根据需要裁切,本发明的工艺中玻璃层是根据需要人为排序然后进行生长钝化的,一方面钝化过程中没有其他杂质,玻璃内部不会产气泡和黑渣点,另一方面玻璃粉融化固化后是致密的,硬特性和耐高温特性都大大提高,有效保证GPP芯片的可靠性。


