本实用新型涉及一种功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪，用于实现功率半导体器件的输入电阻、输入电容、输出电容、反向电容在不同直流偏置电压条件下的多通道扫描测试，包括控制电路、LCR测试电路、栅极偏压电路、漏极偏压电路及多通道隔离开关矩阵电路。该功率半导体器件电阻电容一体化单机测试仪将控制电路、LCR测试电路、栅极偏压电路、漏极偏压电路及多通道隔离开关矩阵电路集成于单台仪器中，操作简单、维护方便，制作成本更低，大大提高了测试精度及测试效率。