本实用新型公开了一种晶圆进出料模组，包括储料装置、移料装置，储料装置配置为提供工件，或，对工件进行码垛；移料装置位于储料装置的一侧，配置为对工件进行移动。储料装置包括储料机构、叉盘机构，叉盘机构设于储料机构的一侧，储料机构设有存料架，存料架上设置有若干用于放置工件的插槽，叉盘机构的驱动端能够能够嵌入或远离插槽。本实用新型提供一种能够对晶元进行进料或出料处理的模组，本模组主要由储料装置、移料装置组成。储料装置能够提供工件，或者回收工件，移料装置能够对工件行移动处理。