一种集成电路半导体芯片用超纯水机，它包括支撑支架、供水泵、膜前压力管、膜后压力管、紫外线杀菌器、脱气膜、抛光树脂罐、真空泵、供水压力管、囊式过滤器、控制机箱，控制机箱下端通过囊式过滤器与供水压力管一端相连接。本实用新型有益效果为设备自动化程度高，无需人工干预，做到全自动制水，满水停机；且具有自清洗功能，还可以远程物联网功能；增加设有二级水质不合格排走功能，确保成品水品质优；二级浓水回收至原水箱，能缓解原水压力，节省水源，降低原水水质，使反渗透产水水质更优；往氮封水箱提供氮气，来保持水质鲜度；纯水输送至用水点后回流至氮封水箱，循环杀菌、脱气、保鲜，保持纯水水质质量，保证管道内无菌环境。