一种节水无缓冲式超纯水系统，它涉及超纯水制备技术领域。它包含水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、MF微米过滤器、高压泵、RO过滤装置、EDI过滤装置、超纯水收集箱、浓水排放箱；石英砂过滤器与水泵连接，活性炭过滤器与石英砂过滤器连接，MF微米过滤器与活性炭过滤器连接，高压泵与MF微米过滤器连接，RO过滤装置与高压泵连接，EDI过滤装置与RO过滤装置连接，超纯水收集箱与EDI过滤装置连接，浓水排放箱分别与RO过滤装置、EDI过滤装置连接。它采用RO+EDI电去离子水工艺，无需酸碱再生混床制备去离子水，出水在线电阻率可达到15MΩ*CM以上，不仅有效提高超纯水的生产效率，而且节省系统占用面积。