本发明实施例公开一种量测设备的对齐方法、装置及系统。该方法包括：获取样本的标准图像；根据标准图像，确定标准ROI的标准数据；基于同一量测设备，获取与多个样本一一对应的多个深度图像；确定每个深度图像中的一组备选ROI和各备选ROI的深度数据；计算不同深度图像中相关联的各备选ROI的深度数据与标准数据的方差之和，作为该相关联的各备选ROI对应的方差；根据各备选ROI对应的方差，将各组备选ROI中的一备选ROI确定为目标ROI；其中，各组备选ROI的目标ROI相关联；根据目标ROI的深度数据和标准数据，计算量测设备的对齐参数。如此，根据目标ROI的深度数据和标准ROI的标准数据可计算出量测设备的对齐参数，以利用对齐参数可以实现量测设备的快速对齐。