本实用新型提供一种X射线荧光光谱仪，包括X射线管、毛细管、单色器和探测器，所述X射线管用于发射X射线，所述X射线管设于所述毛细管入口处，所述毛细管的入口端直径Din大于出口端直径Dout，用于将接收的X射线进行汇聚，所述单色器设于所述毛细管出口端，沿所述毛细管轴线的第一方向与沿所述单色器厚度方向的第二方向呈夹角设置，用于将毛细管出口端射出的X射线由宽波段转化为窄波段；所述探测器用于接收所述样品与所述窄波段的X射线作用而产生的样品荧光信号，相对于现有技术能够减少双曲面弯晶的尺寸，进而减小实验难度和减小误差。