本发明实施例公开了一种光栅尺及其测量方法、系统，其中该方法包括：获取光栅尺输出的原始波形、光栅尺读数头的当前温度参数和/或当前振动参数；根据当前温度参数及温度补偿系数得到温度补偿数据；和/或，根据当前振动参数及振动补偿系数得到振动补偿数据；根据温度补偿数据和/或振动补偿数据对原始波形进行误差补偿，得到补偿后的补偿波形；计算补偿波形与根据历史数据进行拟合得到的预测输出波形之间的波形参数差，当波形参数差大于对应的预设阈值时，调整温度补偿系数或振动补偿系数，根据调整后的温度补偿系数或振动补偿系数重新进行补偿后，输出重新补偿的波形。提高了测量的精准度。