授权公布号:CN112725753B
一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法
有效
申请
2020-12-30
申请公布
2021-04-30
授权
2023-02-24
预估到期
2040-12-30
| 申请号 | CN202011603008.9 |
| 申请日 | 2020-12-30 |
| 申请公布号 | CN112725753A |
| 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 授权公布号 | CN112725753B |
| 授权公告日 | 2023-02-24 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/08 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 柯盛新材料有限公司 |
| 申请人地址 | 湖南省长沙市经济技术开发区王家冲路18号 |
专利法律状态
2023-02-24
授权
状态信息
授权
2021-04-30
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开了一种一次离心绑定多节ITO旋转靶材的方法,属于ITO旋转靶材加工技术领域,该方法包括以下步骤:S1、预处理:对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理;S2、组装:将背管从电热管上方往下插入,以使背管插设在安装座顶面插槽内,并使安装座上的定位筒插设在背管内;将多节ITO靶管由下往上依次套在背管上,上下相邻ITO靶管通过密封圈密封,最下节的ITO靶管插设在安装座顶面插槽内,ITO靶管与背管之间设有间隙;S3、灌铟;S4、离心绑定。本发明先将待绑定的ITO靶管一次组装好,然后再进行整体灌铟和转动离心,使得熔化后的铟紧贴ITO靶管内壁,绑定率较好。


