授权公布号:CN216348426U
一种检测玻璃表面平整度的激光干涉仪
有效
申请
2021-11-07
申请公布
1970-01-01
授权
2022-04-19
预估到期
2031-11-07
| 申请号 | CN202122703627.1 |
| 申请日 | 2021-11-07 |
| 授权公布号 | CN216348426U |
| 授权公告日 | 2022-04-19 |
| 分类号 | G01B11/30 |
| 分类 | 测量;测试; |
| 申请人名称 | 深圳市速德瑞科技有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省深圳市龙华新区大浪街道河背工业区河盛工业园1栋601 |
专利法律状态
2022-04-19
授权
状态信息
授权
摘要
一种检测玻璃表面平整度的激光干涉仪,包括立柱,所述立柱的底面连接有底板,所述立柱的顶面连接有圆柱,所述立柱的内部贯穿开设有导向槽,所述导向槽的内壁表面设置有齿条,所述齿条上啮合安装有齿轮,所述齿轮一侧的立柱表面活动安装有压轮,所述齿轮另一侧的立柱表面固定连接有调节盘,所述圆柱靠近限位柱的一端表面设置有刻度盘,所述U形键的内部转动连接有调节轮,所述调节轮下方的U形键内部开设有限位槽,所述限位槽的内部滑动连接有齿杆,所述齿杆的一端固定连接有激光检测头。本实用新型中立柱的两侧表面粗糙度低于0.05µm,便于手持作为直尺检测玻璃表面平整度,激光检测头可利用光的折射原理检测玻璃表面平整度。


