晶圆上下料装置及晶圆检测设备。其中，晶圆上下料装置包括：载台组件，包括安装支架和晶圆载台，晶圆载台固定设于安装支架上，晶圆载台包括间隔设置的第一载台和第二载台；导轨组件，固定设于安装支架，并位于晶圆载台下方；取料组件，移动连接导轨组件，部分取料组件可移动地设于第一载台和第二载台之间，用于获取晶圆载台上的晶圆物料并携带晶圆物料移动；驱动组件，设置于导轨组件的一端，驱动组件传动连接取料组件，用于驱动取料组件沿导轨组件移动。载台组件、导轨组件、取料组件和驱动组件集成安装，晶圆物料放置位置和取料组件的取料位置保持固定，有利于提高晶圆物料的取料精度。