一种晶圆检测设备，包括探针检测组件、上对位相机组件、晶圆卡盘组件、下对位相机组件、清针组件、移动组件、上下料组件，探针检测组件包括翻板组件和翻板支撑组件，翻板组件转动连接翻板支撑组件，翻板组件上设有探针卡，上对位相机组件用于检测晶圆卡盘组件上的晶圆位置，下对位相机组件用于检测探针卡的位置，移动组件根据上、下对位相机组件的检测结果移动晶圆卡盘组件至探针卡的下方，移动组件还用于移动清针组件至探针卡的下方，清针组件用于清理探针卡，上下料组件用于传输晶圆至晶圆卡盘组件，或从晶圆卡盘组件取走晶圆。如此，晶圆上下料、对位、晶圆检测、探针清理等功能集为一体，并自动化进行，有效提高检测准确度。