本实用新型涉及一种镀膜腔室铲毛刺装置，其包括载板、设于所述载板一端且呈波浪型凸出所述载板表面的刮板和设于所述载板底部的铲板，所述刮板采用柔性材料制成。本实用新型可以有效处理由于底板积渣造成划伤产品以及挡板形成悬挂物使产品形成的放电纹。