一种单晶硅炉退火装置，包括主炉室、副炉室与加热器，所述主炉室设置在底部，在所述主炉室顶部设有副炉室，所述副炉室内部设有退火腔，所述退火腔内设有加热器，所述加热器包括加热片单元，加热片单元为环形，依次进行叠加固定，形成圆筒状，每若干个加热片单元形成一组，若干个组形成一个完整的加热器，通过PLC编程控制器，来控制发热的区域，从而根据实际需求，如晶棒的尺寸和长短来合理调整加热区域，充分利用单晶炉内高温炉气，降低能耗，提高硅棒品质精确控制加热位置以及加热时间。