本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其是涉及太阳能电池片及组件的制备技术领域，具体公开了一种彩色太阳能电池片的制备方法，以及由该方法制得的彩色太阳能电池片、和包含该彩色太阳能电池片的彩色太阳能电池组件。本发明还公开了一种用于镀彩色膜的PECVD设备，通过改进PECVD的特气管路，采用不同特气流量、且流量可调的错位特气管路，在晶体硅片正面沉积不同厚度的氮化硅减反射膜，能够制得片内具有不同颜色的彩色太阳能电池片，电池片内颜色可按设计定制，外观效果好，具有操作简单，生产效率高的优点。