本申请涉及自动控制技术领域，公开了一种过程监控方法、装置、系统。所述监控方法包括，响应于一个周期测试的启动信号，根据预设监控条件获取待测设备的可靠性测试的监控结果，其中，所述启动信号与所述预设监控条件具有对应关系，所述预设监控条件根据监控需求配置；判断所述可靠性测试的监控结果是否异常；在判断所述可靠性测试的监控结果为异常的情况下，生成所述待测设备出现异常的触发时间以及事件信息。本申请能够对待测试设备进行闭环可靠性测试，通过对执行过程、监控过程以及异常处理过程的跟踪分析，保证了可靠性测试的顺利进行，同时为异常问题的定位提供了有力的数据支持。