授权公布号:CN104630713B
连线装置及应用其的OLED生产线
有效
申请
2013-11-12
申请公布
2015-05-20
授权
2017-05-10
预估到期
2033-11-12
| 申请号 | CN201310560236.6 |
| 申请日 | 2013-11-12 |
| 申请公布号 | CN104630713A |
| 申请公布日 | 2015-05-20 |
| 授权公布号 | CN104630713B |
| 授权公告日 | 2017-05-10 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12;H05B33/10 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 江苏豪迈照明科技有限公司 |
| 申请人地址 | 江苏省建湖县经济开发区永兴路999号 |
专利法律状态
2017-05-10
授权
状态信息
授权
2015-06-17
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/24申请日:20131112
2015-05-20
公布
状态信息
公开
摘要
本发明提供的连线装置及应用其的OLED生产线,其包括机架、箱体舱和工作舱,机架的底部具有多个移动轮;箱体舱固定在机架上,在箱体舱内设置有旋转轴和与之连接的用于承载工件的至少两个工件框架,旋转轴在旋转时带动至少两个工件框架沿旋转轴旋转,以使至少两个工件框架逐一经过与工作舱相对应的位置处;工作舱固定在机架上,工作舱具有第一密封机构和第二密封机构,工作舱通过第一密封机构与箱体舱连通或隔离,以及通过第二密封机构与真空镀膜设备的真空腔室对接或脱离。本发明提供的连线装置可以在真空或高纯氮气的保护下,实现对多个工件的传输和装卸。本发明提供的OLED生产线大大提高了OLED的生产效率和产量。


