一种Demura多轴自动检测机构

授权公布号：CN108956623B

一种Demura多轴自动检测机构

有效

申请

2018-07-06

申请公布

2018-12-07

授权

2024-02-27

预估到期

2038-07-06

申请号	CN201810735111.5
申请日	2018-07-06
申请公布号	CN108956623A
申请公布日	2018-12-07
授权公布号	CN108956623B
授权公告日	2024-02-27
分类号	G01N21/88
分类	测量；测试;
申请人名称	武汉精测电子集团股份有限公司
申请人地址	湖北省武汉市洪山区南湖大道53号洪山创业中心4楼

专利法律状态

2024-02-27 授权

状态信息

授权

2019-01-01 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01N21/88；申请日:20180706

2018-12-07 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种Demura多轴全自动检测机构，其包括机架和CCD相机，机架上设置有移栽模组，移栽模组的活动端连接有连接架，CCD相机连接于连接架下方；连接架与CCD相机之间设置有同轴布置的第一直线滑台、第二直线滑台、摆动滑台和齿轮调焦机构。与传统Demura检测机构相比，本发明结构简单、使用方便，其可使CCD相机沿X轴、Y轴和Z轴方向位移，同时绕X轴、Y轴、Z轴转动，同时实现了全自动调节，且具有焦距调节机构，避免CCD相机沿Z轴方向调整幅度过大造成对焦不精确及损坏相机。