授权公布号:CN220568059U
一种微动平台
有效
申请
2023-08-29
申请公布
1970-01-01
授权
2024-03-08
预估到期
2033-08-29
| 申请号 | CN202322323368.9 |
| 申请日 | 2023-08-29 |
| 授权公布号 | CN220568059U |
| 授权公告日 | 2024-03-08 |
| 分类号 | G01B7/02 |
| 分类 | 测量;测试; |
| 申请人名称 | 合肥埃科光电科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 安徽省合肥市高新区中安创谷二期J2栋3层 |
专利法律状态
2024-03-08
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开一种微动平台。该微动平台包括,若干位移检测装置,分别与平台基体、移动平台固定连接,检测移动平台的位移量;任一位移检测装置包括一个弹性件和至少一组沿弹性件长度方向分布的应变片;微驱动器,连接移动平台,输出伸缩运动,驱动移动平台运动。本实用新型提出的一种微动平台,结构简单易于装配,输出刚度高,承载能力大;该平台上设置以应变片—弹性件作为位移检测装置,实时检测移动平台的位移,且该装置安装方便,易于集成,还能降低设备成本。


