本发明公开了一种超声波发生器，包括多个超声波发生器支路以用于驱动相应的多个超声波换能器，每个超声波发生器支路中包括直流电源、超声波振荡器、直流/交流变换器，以及阻抗匹配输出网络，该多个超声波发生器支路中包括一路超声波主发生器和至少一路超声波辅发生器，该超声波主发生器的超声波主振荡器基于对应超声波换能器的反馈信号生成用以控制该超声波主发生器的直流/交流变换器的主振荡信号，每一路该超声波辅发生器的超声波辅振荡器使用基于该超声波主振荡器输出的该主振荡信号的振荡信号源生成谐振频率与该主振荡信号相一致的辅振荡信号以控制该路超声波辅发生器的该直流/交流变换器。