本发明实施例提供了一种测试样品及其制备方法，通过提供待检测试样；其中，所述待检测试样包括：第一介质层和覆盖所述第一介质层的第二介质层；所述第一介质层覆盖第一沟道的侧壁；将所述待检测试样中至少第一区域对应的部分所述第二介质层的材料替换为第一材料；其中，所述第一区域包括所述待检测试样中被疑似存在缺陷的区域；所述第一介质层和替换材料后的所述第二介质层在显微镜下的成像图像的衬度差大于预设衬度；对进行材料替换后的待检测试样进行切片处理，得到测试样品；其中，所述测试样品用于通过所述显微镜进行缺陷检测。