授权公布号:CN114121665B
半导体器件的制作方法、半导体器件、存储器及存储系统
有效
申请
2021-11-08
申请公布
2022-03-01
授权
2024-02-23
预估到期
2041-11-08
| 申请号 | CN202111311607.8 |
| 申请日 | 2021-11-08 |
| 申请公布号 | CN114121665A |
| 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 授权公布号 | CN114121665B |
| 授权公告日 | 2024-02-23 |
| 分类号 | H01L21/336;H01L29/78 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 长江存储科技有限责任公司 |
| 申请人地址 | 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号 |
专利法律状态
2024-02-23
授权
状态信息
授权
2022-03-18
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/336;申请日:20211108
2022-03-01
公布
状态信息
公布
摘要
本发明实施例公开了一种半导体器件的制作方法、半导体器件、存储器及存储系统。所述半导体器件的制作方法包括:在基底的背面形成停止层,其中,所述基底的背面与所述基底的正面相对设置,所述基底的侧面分别与所述基底的正面和背面连接;在所述基底的正面、侧面以及所述停止层背离所述基底的一侧形成栅极层;去除所述基底侧面以及所述停止层背离所述基底一侧的栅极层,使所述基底正面的栅极层形成栅极。本发明实施例能够避免栅极层去除时基底背面被损坏,提高半导体器件的性能。


