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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN114121665B
半导体器件的制作方法、半导体器件、存储器及存储系统
有效
申请
2021-11-08
申请公布
2022-03-01
授权
2024-02-23
预估到期
2041-11-08
申请号 CN202111311607.8
申请日 2021-11-08
申请公布号 CN114121665A
申请公布日 2022-03-01
授权公布号 CN114121665B
授权公告日 2024-02-23
分类号 H01L21/336;H01L29/78
分类 基本电气元件;
申请人名称 长江存储科技有限责任公司
申请人地址 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2024-02-23 授权
状态信息
授权
2022-03-18 实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/336;申请日:20211108
2022-03-01 公布
状态信息
公布

摘要

本发明实施例公开了一种半导体器件的制作方法、半导体器件、存储器及存储系统。所述半导体器件的制作方法包括:在基底的背面形成停止层,其中,所述基底的背面与所述基底的正面相对设置,所述基底的侧面分别与所述基底的正面和背面连接;在所述基底的正面、侧面以及所述停止层背离所述基底的一侧形成栅极层;去除所述基底侧面以及所述停止层背离所述基底一侧的栅极层,使所述基底正面的栅极层形成栅极。本发明实施例能够避免栅极层去除时基底背面被损坏,提高半导体器件的性能。