授权公布号:CN113764432B
3D存储器件及其制造方法
有效
申请
2020-01-02
申请公布
2021-12-07
授权
2024-02-27
预估到期
2040-01-02
| 申请号 | CN202110838979.X |
| 申请日 | 2020-01-02 |
| 申请公布号 | CN113764432A |
| 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 授权公布号 | CN113764432B |
| 授权公告日 | 2024-02-27 |
| 分类号 | H10B43/35;H10B43/27;H10B43/50 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 长江存储科技有限责任公司 |
| 申请人地址 | 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号 |
专利法律状态
2024-02-27
授权
状态信息
授权
2021-12-24
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L27/1157;申请日:20200102
2021-12-07
公布
状态信息
公布
摘要
本申请公开了一种3D存储器件及其制造方法。该3D存储器件的制造方法包括:衬底;位于衬底上的栅叠层结构,栅叠层结构包括交替堆叠的多个栅极导体和多个层间绝缘层;贯穿栅叠层结构的多个沟道柱;以及贯穿栅叠层结构的多个假沟道柱,其中,假沟道柱的材料为介质材料。该3D存储器件采用介质材料形成假沟道柱,避免了假沟道柱底部漏电问题,提高了3D存储器件的良率和可靠性。


