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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN113764432B
3D存储器件及其制造方法
有效
申请
2020-01-02
申请公布
2021-12-07
授权
2024-02-27
预估到期
2040-01-02
申请号 CN202110838979.X
申请日 2020-01-02
申请公布号 CN113764432A
申请公布日 2021-12-07
授权公布号 CN113764432B
授权公告日 2024-02-27
分类号 H10B43/35;H10B43/27;H10B43/50
分类 基本电气元件;
申请人名称 长江存储科技有限责任公司
申请人地址 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

专利法律状态

2024-02-27 授权
状态信息
授权
2021-12-24 实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L27/1157;申请日:20200102
2021-12-07 公布
状态信息
公布

摘要

本申请公开了一种3D存储器件及其制造方法。该3D存储器件的制造方法包括:衬底;位于衬底上的栅叠层结构,栅叠层结构包括交替堆叠的多个栅极导体和多个层间绝缘层;贯穿栅叠层结构的多个沟道柱;以及贯穿栅叠层结构的多个假沟道柱,其中,假沟道柱的材料为介质材料。该3D存储器件采用介质材料形成假沟道柱,避免了假沟道柱底部漏电问题,提高了3D存储器件的良率和可靠性。