本发明提供一种气泡缺陷监控方法、装置、服务器及可读存储介质，对键合晶圆的扫描图像进行灰度解析，获得气泡缺陷的像素灰度值，以通过像素灰度值对气泡缺陷进行监控。本发明可对气泡缺陷的尺寸大小、气泡缺陷的形状及气泡缺陷的数量进行在线自动监控，可避免人工目检的方式，检测效率高，准确率高，从而具有良好的可靠性，以降低气泡破开概率，降低经济损失，提高生产效率，具有较高的经济价值。