授权公布号:CN113644075B
三维存储器件及用于形成其的方法
有效
申请
2020-04-27
申请公布
2021-11-12
授权
2024-02-27
预估到期
2040-04-27
| 申请号 | CN202110948591.5 |
| 申请日 | 2020-04-27 |
| 申请公布号 | CN113644075A |
| 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 授权公布号 | CN113644075B |
| 授权公告日 | 2024-02-27 |
| 分类号 | H10B43/00;H10B43/30;H10B43/20;H10B43/27 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 长江存储科技有限责任公司 |
| 申请人地址 | 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号 |
专利法律状态
2024-02-27
授权
状态信息
授权
2021-11-30
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L27/11563;申请日:20200427
2021-11-12
公布
状态信息
公布
摘要
公开了3D存储器件及用于形成其的方法的实施例。在一个示例中,一种3D存储器件包括:衬底的P型掺杂区;位于所述P型掺杂区之上的N型掺杂半导体层;位于所述N型掺杂半导体层之上的包括交织的导电层和电介质层的存储堆叠层;垂直地延伸通过所述存储堆叠层和所述N型掺杂半导体层进入所述P型掺杂区的沟道结构;垂直地延伸进入所述P型掺杂区的N型掺杂半导体插塞;以及,垂直地延伸通过所述存储堆叠层以便与所述N型掺杂半导体插塞接触的源触点结构。


