授权公布号:CN113423050B
MEMS系统
有效
申请
2021-06-18
申请公布
2021-09-21
授权
2024-03-08
预估到期
2041-06-18
| 申请号 | CN202110680900.5 |
| 申请日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN113423050A |
| 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 授权公布号 | CN113423050B |
| 授权公告日 | 2024-03-08 |
| 分类号 | H04R19/04 |
| 分类 | 电通信技术; |
| 申请人名称 | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 申请人地址 | 浙江省杭州市黄姑山路4号 |
专利法律状态
2024-03-08
授权
状态信息
授权
2021-10-12
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H04R19/04;申请日:20210618
2021-09-21
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供了一种MEMS系统,差分电容式MEMS传感模块接入偏置电压及预定电压,差分电容式MEMS传感模块的差分电容在外部的声音信号的激励下产生电容变化量,差分电容中的一个MEMS电容上的信号可以耦合到另一个MEMS电容上的信号一起输出,在MEMS部分完成了差分转单端的功能,体现为差分电容式MEMS传感模块输出的第一电压信号通过一个输出端输出,实现了差分电容式MEMS传感模块的单端输出,信号处理模块只对第一电压信号进行信号处理,可兼容普通的单输入的信号处理模块,无需重新设计信号处理模块。


