本发明提供了一种MEMS传感器及其制备方法，在第一衬底和所述第二衬底的正面形成相应的电极层之后，并通过键合工艺将第一衬底和所述第二衬底的正面键合在一起，将电极层密封在键合形成的空腔内，电极层通过导电连接结构或直接与第一衬底的正面的压点电性连接。相当于利用了MEMS工艺实现了器件的制备，提高了器件的可靠性，降低了制备难度，并且还可以简化后续进行的封装步骤。