授权公布号:CN218895750U
一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置
有效
申请
2022-07-12
申请公布
1970-01-01
授权
2023-04-21
预估到期
2032-07-12
| 申请号 | CN202221788563.8 |
| 申请日 | 2022-07-12 |
| 授权公布号 | CN218895750U |
| 授权公告日 | 2023-04-21 |
| 分类号 | G01B11/06 |
| 分类 | 测量;测试; |
| 申请人名称 | 福建龙溪轴承(集团)股份有限公司 |
| 申请人地址 | 福建省漳州市龙文区小港北路32号 |
专利法律状态
2023-04-21
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及一种基于光学干涉的自润滑轴承涂层厚度检测装置,该装置包括:钨卤素灯光源模块,用于发射光束;第一凸透镜,用于将钨卤素灯光源模块的发射光准直为平行光束;迈克尔逊干涉仪模块,用于将光束分束为强度相等的两束光,作为参考光、探测光分别汇聚于参考镜、待测轴承涂层表面,反射后重合发生干涉,形成干涉光束;以及二维光谱仪模块,包括反射镜、反射式光栅、柱透镜和面阵CCD相机,干涉光束经反射镜传播至反射式光栅,并按波长在空间分光后由柱透镜汇聚成干涉谱线,由面阵CCD相机采集获得二维干涉光谱条纹。该装置有利于获取自润滑轴承涂层厚度的二维干涉条纹图像,进而实现对自润滑轴承涂层厚度进行非接触无损检测。


