本发明公开了一种三氯化磷的精制设备，具有用管路依次连接的薄膜蒸发器、精馏塔、一级冷凝装置、二级冷凝装置、高沸点收料罐。一级和二级冷凝装置的底部有收料管路直接连接高沸点收料塔，另有支路连接薄膜蒸发器；二级冷凝装置具有出气口，联通尾气缓冲罐。精馏塔的塔底具有返流口联通薄膜蒸发器回流口，薄膜蒸发器的底部具有出料口联通塔釜出料槽。二级冷凝装置采用‑10℃的盐水做冷凝液。本发明对外购回来的黄磷进行特殊精加工处理，使其含量高于99.9%，特殊的关键离子砷含量降至4ppm，这样产出的三氯化磷品质很高。