本发明涉及氟化工技术领域，具体涉及一种去除三氟甲基次氟酸酯中杂质的工业化方法，包括将待处理物料通入低温吸收液中进行冷却吸收的操作；吸收液中包括三氯三氟乙烷，吸收液的温度为‑85℃～‑75℃。本发明所述方法操作步骤简单，仅通过简单地物理降温和吸收即可实现杂质物质的去除，不需要进行精馏或蒸馏等其他复杂的操作，适于工业化应用。