本发明公开了一种硅微粉预烘系统真空干燥操作工艺，通过真空设备硅微粉预烘系统实现，具体包括：先设置温控四区温度、加料重量、干燥时间、真空度；硅微粉经过加料工序、输送管路进入原料处理罐内；在原料处理罐内加温搅拌，恒温一段时间后，再振动抽空搅拌静止，所述抽空搅拌静止循环多次，直至放料，此过程为自动完成。本工艺生产过程操作简单，方便易行，只需一人即可完成，不仅降低了工人劳动强度，而且能够保证硅微粉干燥前后均在真空状态下传输，水分含量低且稳定一致，同时每罐硅微粉干燥重量可达1000kg，干燥时间1.5h即可完成，提高了生产效率，操作过程无粉尘具有环保等优点。