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乐孜芯创RORZE

乐孜芯创自动化设备（上海）有限公司

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洁净机器人品牌榜 No.2

2008-06-24创立上海 021-50101028

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产品

大气洁净晶圆传输机器人真空洁净机器人基板传输机器人

洁净机器人品牌榜第2名

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公司洁净机器人产品矩阵涵盖大气晶圆传输机器人、真空洁净机器人、基板传输机器人，配套LoadPort晶圆载具端口、晶圆对准器、EFEM设备前端模块。产品实现低发尘、高重复定位精度，可在Class1超高洁净环境稳定工作，适配光刻、刻蚀、薄膜沉积、检测等半导体全制程工位，广泛应用于12英寸、8英寸晶圆产线，同时覆盖面板、生命科学洁净自动化场景，可对接半导体工厂自动化系统，提供设备端洁净传输单元与现场技术服务。

RORZE在日本设立研发制造中心，在上海搭建中国研发、装配与售后基地，贴近国内半导体客户。持续迭代真空洁净传输、轻量化手臂、微粒抑制核心技术，深耕半导体设备上游核心零部件，联动国内外晶圆设备厂商开展适配验证，不断完善洁净自动化产品体系，助力国内集成电路产线实现稳定的无尘晶圆转运。

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公司名称：

乐孜芯创自动化设备（上海）有限公司

法人代表：

藤代祥之

发源地：

上海

创立时间：

2008-06-24

企业地址：

中国（上海）自由贸易试验区康桥东路958号2幢105室、3幢106室

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